Оптическая коррекция близости как один из методов повышения разрешения в литографии
| dc.contributor.author | Козлова, Т. А. | |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2019-08-23T07:03:38Z | |
| dc.date.available | 2019-08-23T07:03:38Z | |
| dc.date.issued | 2019 | |
| dc.identifier.citation | Козлова, Т. А. Оптическая коррекция близости как один из методов повышения разрешения в литографии / Т. А. Козлова // Новые направления развития приборостроения : материалы 12-й Международной научно-технической конференции молодых ученых и студентов, 17−19 апреля 2019 г. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: О. К. Гусев (пред. редкол.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2019. – С. 197-198. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/56315 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Оптическая коррекция близости как один из методов повышения разрешения в литографии | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
