Browsing Материалы конференции по статьям by Author "Козлова, Т. А."

Now showing items 1-2 of 2

    • Оптическая коррекция близости как один из методов повышения разрешения в литографии 

      Козлова, Т. А. (БНТУ, 2019)
      Козлова, Т. А. Оптическая коррекция близости как один из методов повышения разрешения в литографии / Т. А. Козлова // Новые направления развития приборостроения : материалы 12-й Международной научно-технической конференции молодых ученых и студентов, 17−19 апреля 2019 г. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: О. К. Гусев (пред. редкол.) [и др.]. – Минск : ...
      2019-08-23

    • Применение фазосдвигающих масок как способ повышения разрешающей способности 

      Козлова, Т. А. (БНТУ, 2019)
      Козлова, Т. А. Применение фазосдвигающих масок как способ повышения разрешающей способности / Т. А. Козлова // Новые направления развития приборостроения : материалы 12-й Международной научно-технической конференции молодых ученых и студентов, 17−19 апреля 2019 г. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: О. К. Гусев (пред. редкол.) [и др.]. – Минск : БНТУ, ...
      2019-08-23