Контроль физических параметров приповерхностных слоев полупроводниковых пластин методом фотостимулированной з ондовой электрометрии
| dc.contributor.author | Жарин, А. Л. | |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2019-04-26T06:06:15Z | |
| dc.date.available | 2019-04-26T06:06:15Z | |
| dc.date.issued | 2018 | |
| dc.identifier.citation | Жарин, А. Л. Контроль физических параметров приповерхностных слоев полупроводниковых пластин методом фотостимулированной з ондовой электрометрии/ А. Л. Жарин // Наука – образованию, производству, экономике : материалы 16-й Международной научно-технической конференции. - Минск : БНТУ, 2018. - Т. 2. - С. 166. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/52188 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Контроль физических параметров приповерхностных слоев полупроводниковых пластин методом фотостимулированной з ондовой электрометрии | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
