Карпович, С. Е. Мехатронные системы параллельной кинематики для фотолитографического оборудования / С. Е. Карпович, В. В. Кузнецов, А. Ю. Войтов // Теоретическая и прикладная механика [Электронный ресурс] : международный научно-технический сборник / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: А. В. Чигарев (пред. редкол.). – Минск : БНТУ, 2019. – Вып. 34. – С. 17-22.