Формирование пленок sioc ионно–лучевым распылением составной мишени sio2/c
dc.contributor.author | Телеш, Е. В. | |
dc.contributor.author | Дуксин, М. В. | |
dc.coverage.spatial | Минск | ru |
dc.date.accessioned | 2019-04-25T06:01:41Z | |
dc.date.available | 2019-04-25T06:01:41Z | |
dc.date.issued | 2018 | |
dc.identifier.citation | Телеш, Е. В. Формирование пленок sioc ионно–лучевым распылением составной мишени sio2/c / Е. В. Телеш, М. В. Дуксин // Приборостроение-2018 : материалы 11-й Международной научно-технической конференции, 14-16 ноября 2018 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (председатель) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2018. – С. 229-230. | ru |
dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/52141 | |
dc.language.iso | ru | ru |
dc.publisher | БНТУ | ru |
dc.title | Формирование пленок sioc ионно–лучевым распылением составной мишени sio2/c | ru |
dc.type | Working Paper | ru |