Проектирование технологической оснастки для нанесения равномерных по толщине покрытий магнетронным методом
| dc.contributor.author | Асташко, С. С. | |
| dc.date.accessioned | 2019-04-19T06:01:42Z | |
| dc.date.available | 2019-04-19T06:01:42Z | |
| dc.date.issued | 2019 | |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/51964 | |
| dc.subject | Реферат | ru |
| dc.title | Проектирование технологической оснастки для нанесения равномерных по толщине покрытий магнетронным методом | ru |
