Проектирование системы откачки вакуумной установки Atis-500 для формирования покрытий магнетронным методом

dc.contributor.author	Касперович, И. С.
dc.date.accessioned	2019-04-18T12:11:42Z
dc.date.available	2019-04-18T12:11:42Z
dc.date.issued	2019
dc.identifier.uri	https://rep.bntu.by/handle/data/51947
dc.subject	Реферат	ru
dc.title	Проектирование системы откачки вакуумной установки Atis-500 для формирования покрытий магнетронным методом	ru