Контроль параметров границы раздела кремний-двуокись кремния после быстрой термообработки методами исследования вольтфарадных характеристик и зондовой электрометрии
| dc.contributor.author | Жарин, А. Л. | |
| dc.contributor.author | Гусев, О. К. | |
| dc.contributor.author | Воробей, Р. И. | |
| dc.contributor.author | Пантелеев, К. В. | |
| dc.contributor.author | Тявловский, А. К. | |
| dc.contributor.author | Тявловский, К. Л. | |
| dc.contributor.author | Пилипенко, В. А. | |
| dc.contributor.author | Солодуха, В. А. | |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2019-04-17T07:38:09Z | |
| dc.date.available | 2019-04-17T07:38:09Z | |
| dc.date.issued | 2018 | |
| dc.identifier.citation | Контроль параметров границы раздела кремний-двуокись кремния после быстрой термообработки методами исследования вольтфарадных характеристик и зондовой электрометрии / А. Л. Жарин [и др.] // Приборостроение-2018 : материалы 11-й Международной научно-технической конференции, 14-16 ноября 2018 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (председатель) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2018. – С. 93-95. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/51875 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Контроль параметров границы раздела кремний-двуокись кремния после быстрой термообработки методами исследования вольтфарадных характеристик и зондовой электрометрии | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
