Browsing 2018 by Author "Шадурская, Л. И."
Now showing items 1-2 of 2
-
Влияние плотности мощности лазерного излучения на удельное сопротивление эпитаксиальных структур кремния
Боярщонок, Е. В.; Шадурская, Л. И. (БНТУ, 2018)Боярщонок, Е. В. Влияние плотности мощности лазерного излучения на удельное сопротивление эпитаксиальных структур кремния / Е. В. Боярщонок, Л. И. Шадурская // Новые направления развития приборостроения : материалы 11-й Международной научно-технической конференции молодых ученых и студентов, (18-20 апреля 2018 г.) / пред. редкол. О. К. Гусев. - Минск : БНТУ, 2018. - C. 16.2018-08-04 -
Зависимость уровня легирования эпитаксиальных структур кремния от параметров тлеющего разряда
Боярщонок, Е. В.; Шадурская, Л. И. (БНТУ, 2018)Боярщонок, Е. В. Зависимость уровня легирования эпитаксиальных структур кремния от параметров тлеющего разряда / Е. В. Боярщонок, Л. И. Шадурская // Новые направления развития приборостроения : материалы 11-й Международной научно-технической конференции молодых ученых и студентов, (18-20 апреля 2018 г.) / пред. редкол. О. К. Гусев. - Минск : БНТУ, 2018. - C. 15.2018-08-04