Освоение технологии 3D конструкций с использованием механического оборудования, используемого в микроэлектронике, открыло путь к созданию сверхминиатюрных электромеханических систем. Одной из таких систем является микрогироскоп. В зависимости от типа движения инерционной массы микрогироскопы отличаются различными комбинациями вращения и поступательного движения (RR, RL, LR, LL). ...