Browsing Выпуск 31 by Author "Усенко, А. Е."
Now showing items 1-1 of 1
-
К технологии формирования МЭМС/НЭМС-конструкций
Юхневич, А. В.; Майер, И. А.; Усенко, А. Е. (БНТУ, 2016)Рассматривается возможность предельного уменьшения размеров МЭМС, НЭМС и других миниатюрных приборов в технологии их изготовления методами маскированного растворения кристалла. Для этого необходимо использование растворителей, позволяющих осуществить «идеальную» полировку поверхностей. Создание таких пока неизвестных растворителей предлагается начинать с определения элементарных ...2016-02-08