Сидоркин, А. С. Осаждение нитридов титана и кремния из газовой фазы / А. С. Сидоркин, А. А. Шевченко; науч. рук. Д. И. Медведев // Новые материалы и технологии их обработки : сборник научных работ XV Республиканской студенческой научно-технической конференции, 22–25 апреля 2014 г. : [посвящается памяти доктора техн. наук, профессора Худокормова Дмитрия Николаевича] / Н. И. ...