Шидловский, И. И. Очистка поверхности подложек для нанесения покрытий вакуумно-плазменными методами / И. И. Шидловский, И. А. Иванов // Инженерно-педагогическое образование в XXI веке : материалы XII Республиканской научно-практической конференции молодых ученых и студентов БНТУ (72-й студенческой научно-технической конференции БНТУ), Минск, 19–20 мая 2016 г.: в 2 ч. / Белорусский ...