Browsing Материалы конференции по статьям by Author "Щербакова, Е. Н."
Now showing items 1-1 of 1
-
Влияние режимов стационарного отжига в различных средах на фазовый состав тонкопленочной системы металл-кремний
Маркевич, М. И.; Чапланов, А. М.; Щербакова, Е. Н. (БНТУ, 2013)Маркевич, М. И. Влияние режимов стационарного отжига в различных средах на фазовый состав тонкопленочной системы металл-кремний / М. И. Маркевич, А. М. Чапланов, Е. Н. Щербакова // Наука – образованию, производству, экономике : материалы 11-й Международной научно-технической конференции. Т. 4. - Минск : БНТУ, 2013. - С. 461.2015-11-24