Browsing Материалы конференции по статьям by Author "Шадурская, Л. И."
Now showing items 1-1 of 1
-
Плазменное легирование приборных структур многозарядными примесями
Шадурская, Л. И.; Яржембицкая, Н. В. (БНТУ, 2013)Шадурская, Л. И. Плазменное легирование приборных структур многозарядными примесями / Л. И. Шадурская, Н. В. Яржембицкая // Наука – образованию, производству, экономике : материалы 11-й Международной научно-технической конференции. Т. 2. - Минск : БНТУ, 2013. - С. 189.2015-08-21