Технологии и оборудование рентгеновской литографии и электронолитографии
| dc.contributor.author | Рохацевич, М. В. | |
| dc.contributor.author | Щербакова, Е. Н. | |
| dc.contributor.author | Хорт, А. А. | |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2018-08-30T09:33:29Z | |
| dc.date.available | 2018-08-30T09:33:29Z | |
| dc.date.issued | 2018 | |
| dc.identifier.citation | Рохацевич, М. В. Технологии и оборудование рентгеновской литографии и электронолитографии / М. В. Рохацевич, Е. Н. Щербакова, А. А. Хорт // Новые направления развития приборостроения : материалы 11-й Международной научно-технической конференции молодых ученых и студентов, (18-20 апреля 2018 г.) / пред. редкол. О. К. Гусев. - Минск : БНТУ, 2018. - C. 221-222. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/46841 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Технологии и оборудование рентгеновской литографии и электронолитографии | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
