| dc.contributor.author | Маркевич, М. И. | ru |
| dc.contributor.author | Чапланов, А. М. | ru |
| dc.contributor.author | Щербакова, Е. Н. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2013-01-25T08:32:44Z | |
| dc.date.available | 2013-01-25T08:32:44Z | |
| dc.date.issued | 2012 | |
| dc.identifier.citation | Маркевич, М. И. Влияние импульсного фотонного отжига на структуру и фазовый состав тонкопленочных систем на основе кремния и переходных металлов / М. И. Маркевич, А. М. Чапланов, Е. Н. Щербакова // Наука и техника: международный научно-технический. – 2012. - № 5. - С. 13 - 16. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/4007 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Влияние импульсного фотонного отжига на структуру и фазовый состав тонкопленочных систем на основе кремния и переходных металлов | ru |
| dc.type | Article | ru |
| dc.identifier.udc | 621.315:621.785.3 | ru |
| dc.relation.journal | Наука и техника: международный научно-технический журнал | ru |
