Browsing Приборостроение-2014 by Author "Оджаев, В. Б."

Now showing items 1-2 of 2

    • Прочностные свойства и морфология поверхности структур фоторезист ФП9120 – кремний 

      Бринкевич, Д. И.; Оджаев, В. Б.; Просолович, В. С.; Янковский, Ю. Н.; Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Черный, В. В. (БНТУ, 2014)
      Целью настоящей работы являлось исследование прочностных свойств пленок фоторезиста марки ФП9120 различной толщины, нанесенных на пластины кремния различных марок.
      2015-03-23

    • Создание высокосовершенных и высокочистых структур кремния 

      Оджаев, В. Б.; Челядинский, А. Р.; Садовский, П. К.; Турцевич, А. С. (БНТУ, 2014)
      Создание высокосовершенных и высокочистых структур кремния / В. Б. Оджаев [и др.] // Приборостроение-2014 : материалы 7-й Международной научно-технической конференции (19–21 ноября 2014 года, Минск, Республика Беларусь) / ред. колл.: О. К. Гусев [и др.]. – Минск : БНТУ, 2014. – С. 358-360.
      2015-03-24