Browsing Приборостроение-2014 by Author "Кулешов, В. Н."
Now showing items 1-1 of 1
-
Метод формирования бинарных нитридов Ti-Al-N реактивным магнетронным распылением с оптическим управлением
Зайков, В. А.; Комаров, Ф. Ф.; Бурмаков, А. П.; Климович, И. М.; Кулешов, В. Н.; Людчик, О. Р. (БНТУ, 2014)Основной задачей настоящей работы является определение параметров осаждения, позволяющих достичь высокой воспроизводимости химического состава пленок Ti-Al-N и их оптимальных физических свойств: твердости износостойкости и др.2015-03-23