Оборудование и технологии удаления загрязнений с поверхности кремниевых пластин
| dc.contributor.author | Скопцов, А. М. | ru |
| dc.contributor.author | Врабий, Э. М. | ru |
| dc.contributor.author | Баранов, В. В. | ru |
| dc.contributor.author | Шахлевич, Г. М. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2018-02-07T13:09:55Z | |
| dc.date.available | 2018-02-07T13:09:55Z | |
| dc.date.issued | 2017 | |
| dc.identifier.citation | Оборудование и технологии удаления загрязнений с поверхности кремниевых пластин / А. М. Скопцов [и др.] // Приборостроение - 2017 : материалы 10-й Международной научно-технической конференции, 1-3 ноября 2017 года, Минск, Республика Беларусь / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: О. К. Гусев [и др.]. - Минск : БНТУ, 2017. - С. 293-295. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/37409 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Оборудование и технологии удаления загрязнений с поверхности кремниевых пластин | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
