Формирование пленок SiOF реактивным ионно-лучевым распылением кварцевой мишени
| dc.contributor.author | Телеш, Е. В. | ru |
| dc.contributor.author | Гуревич, О. В. | ru |
| dc.contributor.author | Юшкевич, С. А. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2018-02-07T13:02:54Z | |
| dc.date.available | 2018-02-07T13:02:54Z | |
| dc.date.issued | 2017 | |
| dc.identifier.citation | Телеш, Е. В. Формирование пленок SiOF реактивным ионно-лучевым распылением кварцевой мишени / Е. В. Телеш, О. В. Гуревич, С. А. Юшкевич // Приборостроение - 2017 : материалы 10-й Международной научно-технической конференции, 1-3 ноября 2017 года, Минск, Республика Беларусь / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: О. К. Гусев [и др.]. - Минск : БНТУ, 2017. - С. 287-289. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/37405 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Формирование пленок SiOF реактивным ионно-лучевым распылением кварцевой мишени | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
