Реализация режима модулированной поверхностной фотоЭДС в конструкции средств неразрушающего контроля полупроводниковых пластин
dc.contributor.author | Жарин, А. Л. | ru |
dc.contributor.author | Гусев, О. К. | ru |
dc.contributor.author | Воробей, Р. И. | ru |
dc.contributor.author | Пантелеев, К. В. | ru |
dc.contributor.author | Тявловский, А. К. | ru |
dc.contributor.author | Тявловский, К. Л. | ru |
dc.contributor.author | Пилипенко, В. А. | ru |
dc.contributor.author | Петлицкий, А. Н. | ru |
dc.coverage.spatial | Минск | ru |
dc.date.accessioned | 2018-02-01T10:28:01Z | |
dc.date.available | 2018-02-01T10:28:01Z | |
dc.date.issued | 2017 | |
dc.identifier.citation | Реализация режима модулированной поверхностной фотоЭДС в конструкции средств неразрушающего контроля полупроводниковых пластин / А. Л. Жарин [и др.] // Приборостроение - 2017 : материалы 10-й Международной научно-технической конференции, 1-3 ноября 2017 года, Минск, Республика Беларусь / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: О. К. Гусев [и др.]. - Минск : БНТУ, 2017. - С. 83-85. | ru |
dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/37183 | |
dc.language.iso | ru | ru |
dc.publisher | БНТУ | ru |
dc.title | Реализация режима модулированной поверхностной фотоЭДС в конструкции средств неразрушающего контроля полупроводниковых пластин | ru |
dc.type | Working Paper | ru |