Browsing Приборостроение by Author "Святохо, С. В."
Now showing items 1-1 of 1
-
Формирование межуровневого диэлектрика прямым осаждением из ионных пучков
Телеш, Е. В.; Вашуров, А. Ю.; Святохо, С. В. (БНТУ, 2016)Телеш, Е. В. Формирование межуровневого диэлектрика прямым осаждением из ионных пучков / Е. В. Телеш, А. Ю. Вашуров, С. В. Святохо // Приборостроение-2016 : материалы 9-й международной научно-технической конференции, Минск, 23-25 ноября 2016 г. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: О. К. Гусев [и др.]. – Минск, 2016. – С. 387-389.2017-03-30