Browsing Приборостроение by Author "Лугин, В. Г."

Now showing items 1-3 of 3

    • Газочувствительные слои в составе полупроводниковых сенсоров на алюмооксидных подложках 

      Реутская, О. Г.; Денисюк, С. В.; Куданович, О. Н.; Лугин, В. Г. (БНТУ, 2022)
      Формирование газочувствительных слоев на алюмооксидных подложках обеспечивает воспроизводимость и стабильность характеристик, а также низкое энергопотребление сенсоров. Методики выбора режимов отжига и способа нанесения тонких пленок влияют на адгезионные свойства элементов конструкции. Получение развитых сплошных полупроводниковых слоев достигается многослойным нанесением оксидов ...
      2022-12-28

    • Исследование газочувствительных слоев In2O3-SnO2 для полупроводниковых сенсоров 

      Реутская, О. Г.; Денисюк, С. В.; Куданович, О. Н.; Мухуров, Н. И.; Лугин, В. Г.; Таратын, И. А. (БНТУ, 2019)
      Исследование газочувствительных слоев In2O3-SnO2 для полупроводниковых сенсоров / О. Г. Реутская [и др.] // Приборостроение-2019 : материалы 12-й Международной научно-технической конференции, 13–15 ноября 2019 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (председатель) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2019. – С. 374-376.
      2020-01-03

    • Особенности формирования слоев in2o3 для высокочувствительных газовых сенсоров 

      Реутская, О. Г.; Денисюк, С. В.; Куданович, О. Н.; Мухуров, Н. И.; Лугин, В. Г.; Таратын, И. А. (БНТУ, 2020)
      Реутская, О. Г. Особенности формирования слоев in2o3 для высокочувствительных газовых сенсоров / О. Г. Реутская [и др.] // Приборостроение-2020 : материалы 13-й Международной научно-технической конференции, 18–20 ноября 2020 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (председатель) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2020. – С. 266-267.
      2021-02-09