Шпилевский, В. Е. Магнетронное распыление для получения тонкопленочных структур / В. Е. Шпилевский, В. В. Кислянков // Инженерно-педагогическое образование в XXI веке : материалы XIII Республиканской научно-практической конференции молодых ученых и студентов БНТУ (73-й студенческой научно-технической конференции БНТУ), Минск, 18–19 мая 2017 г.: в 2 ч. / Белорусский национальный ...