Моделирование лазерно-индуцированных процессов в пленках TiAlN на кремниевых подложках
| dc.contributor.author | Гацкевич, Е. И. | ru |
| dc.contributor.author | Ивлев, Г. Д. | ru |
| dc.date.accessioned | 2017-08-25T06:12:52Z | |
| dc.date.available | 2017-08-25T06:12:52Z | |
| dc.date.issued | 2016 | |
| dc.identifier.citation | Гацкевич, Е. И. Моделирование лазерно-индуцированных процессов в пленках TiAlN на кремниевых подложках / Е. И. Гацкевич, Г. Д. Ивлев // Наука – образованию, производству, экономике : материалы 14-й Международной научно-технической конференции. - Минск : БНТУ, 2016. - Т. 3. - С. 400. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/32218 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.title | Моделирование лазерно-индуцированных процессов в пленках TiAlN на кремниевых подложках | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
