Show simple item record

dc.coverage.spatialМинскru
dc.date.accessioned2012-06-14T07:38:01Z
dc.date.available2012-06-14T07:38:01Z
dc.date.issued2010
dc.identifier.citationИсследование и разработка пьезоактивных сенсорных материалов распыляемых мишеней на основе микро- и нанопорошков нитрида алюминия и оксида цинка с микродобавками соединений редкоземельных элементов для получения многофункциональных сенсорных систем : отчет о НИР (заключительный) : 06-89 / Белорусский национальный технический университет; рук. Колешко В. М., исполн. Гулай А. В. [и др.]. – Минск, 2010. – 90 с. – Библиогр.: С. 79-85. - № ГР 20064250ru
dc.identifier.govdoc20064250
dc.identifier.urihttps://rep.bntu.by/handle/data/2986
dc.description.abstractОбъектом исследования являются технологические процессы получения сенсорных систем на поверхностных акустических волнах (ПАВ). Целью данной работы является синтез пьезоактивных сенсорных материалов распыляемых мишеней на основе микро- нанопорошков ZnO и AlN с микродобавками РЗЭ, получение многослойных сенсорных структур, проектирование и моделирование сенсорных систем на поверхностных акустических волнах. В процессе выполнения работы предложены методики получения смесей микро-нанопорошков оксида цинка и нитрида алюминия с микродобавками соединений редкоземельных элементов (оксидов и фторидов РЗЭ). Разработаны процессы формования распыляемых мишеней ZnO и AlN, легированных РЗЭ, путем статического и импульсного прессования порошковых смесей. Разработан технологический процесс формирования тонких пленок путем ионно-лучевого распыления мишеней ZnO и AlN с ионным ассистированием. Предложены основные конструктивные и схемотехнические решения и выполнено моделирование электронных компонентов сенсорной наносистемы на поверхностных акустических волнах.ru
dc.language.isoruru
dc.publisherБНТУru
dc.subjectПорошок оксида цинкаru
dc.subjectПорошок нитрида алюминияru
dc.subjectОксиды редкоземельных элементовru
dc.subjectФториды редкоземельных элементовru
dc.subjectКерамические распыляемые мишениru
dc.subjectИонно-лучевое распылениеru
dc.titleИсследование и разработка пьезоактивных сенсорных материалов распыляемых мишеней на основе микро- и нанопорошков нитрида алюминия и оксида цинка с микродобавками соединений редкоземельных элементов для получения многофункциональных сенсорных системru
dc.title.alternativeОтчет о НИР (заключительный) :06-89ru
dc.typeTechnical Reportru
dc.identifier.udc621.762ru
dc.contributor.supervisorКолешко, В. М.ru


Files in this item

Thumbnail

This item appears in the following Collection(s)

Show simple item record