| dc.contributor.advisor | Германович, Е. И. | ru |
| dc.contributor.author | Ковалевич, В. С. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2017-04-12T08:25:47Z | |
| dc.date.available | 2017-04-12T08:25:47Z | |
| dc.date.issued | 2016 | |
| dc.identifier.citation | Ковалевич, В. С. Использование низкоразмерного кремния в производстве изделий микро- и наноэлектроники / В. С. Ковалевич ; науч. рук. Е. И. Германович // Актуальные проблемы энергетики : материалы 72-й научно-технической конференции студентов и аспирантов / Белорусский национальный технический университет, Энергетический факультет. – Минск : БНТУ, 2016. – С. 647-650. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/29430 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Использование низкоразмерного кремния в производстве изделий микро- и наноэлектроники | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
| dc.identifier.udc | 621.38 | ru |
| dc.relation.book | Актуальные проблемы энергетики : материалы 72-й научно-технической конференции студентов и аспирантов | ru |
