Исследование влияния режимов ионно-лучевого распыления на стехиометрию пленок диоксида кремния
| dc.contributor.author | Телеш, Е. В. | ru |
| dc.contributor.author | Гуревич, О. В. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2017-04-04T07:49:50Z | |
| dc.date.available | 2017-04-04T07:49:50Z | |
| dc.date.issued | 2016 | |
| dc.identifier.citation | Телеш, Е. В. Исследование влияния режимов ионно-лучевого распыления на стехиометрию пленок диоксида кремния / Е. В. Телеш, О. В. Гуревич //Приборостроение-2016 : материалы 9-й международной научно-технической конференции, Минск, 23-25 ноября 2016 г. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: О. К. Гусев [и др.]. – Минск, 2016. – С. 389-391. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/29263 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Исследование влияния режимов ионно-лучевого распыления на стехиометрию пленок диоксида кремния | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
