Разработать технологический процесс полирования полупроводниковых материалов алмазосодержащими суспензиями на основе высоконаполненных паст

Abstract

Объектом исследования являлись пасты алмазные и суспензии алмазные для полирования полупроводниковых материалов. Цель работы – исследование влияния состава алмазных паст и суспензий на их физико-технические характеристики; производительность процесса полирования и качество пластин полупроводниковых материалов; разработка технологических процессов изготовления алмазной пасты, алмазной суспензии и технологического процесса полирования кремниевых пластин (Ø 100) с литерой "О1". В процессе работы проводились экспериментальные исследования влияния характеристик алмазных микропорошков; состава алмазных паст и суспензий на их физико-технические хараетеристики; показатели процесса полирования полупроводниковых материалов. Разработаны алмазные пасты для полирования полупроводниковых материалов с высокими эксплуатационными свойствами, содержащие алмазный микропророшок, отвечающий определенным требованиям; комплекс высокоактивных ПАВ широкого спектра действия; ультрадисперсные наполнители с активной поверхностью. Разработаны алмазные суспензии для полирования кремниевых пластин (Ø 100) с высокими эксплуатационными свойствами, содержащие эффективные смазочные, теплоотводящие, химически и термически стабильные минеральные и синтетические масла. Разработаны и внедрены технологические процессы изготовления алмазной пасты АСМ 2/1 ВОМГ, алмазной суспензии САО АСМ 2/1 и технологического процесса полирования кремниевых пластин (Ø 100), в совокупности обеспечивающие значительное повышение производительности процесса полирования и качества кремниевых пластин (Ø 100).