Показать краткое описание

dc.coverage.spatialМинскru
dc.date.accessioned2012-06-12T08:31:47Z
dc.date.available2012-06-12T08:31:47Z
dc.date.issued2010
dc.identifier.citationРазработать технологический процесс полирования полупроводниковых материалов алмазосодержащими суспензиями на основе высоконаполненных паст : отчет о НИР (заключительный) : 3523/3.64 / Белорусский национальный технический университет; рук. Якубовская С. В., исполн. Гурбо Н. М., [и др.]. – Минск, 2010. – 162 с. – Библиогр.: C. 159-162. - № ГР 20093190ru
dc.identifier.govdoc20093190
dc.identifier.urihttp://rep.bntu.by/handle/data/2925
dc.description.abstractОбъектом исследования являлись пасты алмазные и суспензии алмазные для полирования полупроводниковых материалов. Цель работы – исследование влияния состава алмазных паст и суспензий на их физико-технические характеристики; производительность процесса полирования и качество пластин полупроводниковых материалов; разработка технологических процессов изготовления алмазной пасты, алмазной суспензии и технологического процесса полирования кремниевых пластин (Ø 100) с литерой "О1". В процессе работы проводились экспериментальные исследования влияния характеристик алмазных микропорошков; состава алмазных паст и суспензий на их физико-технические хараетеристики; показатели процесса полирования полупроводниковых материалов. Разработаны алмазные пасты для полирования полупроводниковых материалов с высокими эксплуатационными свойствами, содержащие алмазный микропророшок, отвечающий определенным требованиям; комплекс высокоактивных ПАВ широкого спектра действия; ультрадисперсные наполнители с активной поверхностью. Разработаны алмазные суспензии для полирования кремниевых пластин (Ø 100) с высокими эксплуатационными свойствами, содержащие эффективные смазочные, теплоотводящие, химически и термически стабильные минеральные и синтетические масла. Разработаны и внедрены технологические процессы изготовления алмазной пасты АСМ 2/1 ВОМГ, алмазной суспензии САО АСМ 2/1 и технологического процесса полирования кремниевых пластин (Ø 100), в совокупности обеспечивающие значительное повышение производительности процесса полирования и качества кремниевых пластин (Ø 100).ru
dc.language.isoruru
dc.publisherБНТУru
dc.subjectПасты алмазныеru
dc.subjectСуспензии алмазныеru
dc.subjectСоставru
dc.subjectФизико-технические характеристикиru
dc.subjectПолирование кремниевых пластинru
dc.subjectОптимизацияru
dc.subjectТехнологические процессыru
dc.titleРазработать технологический процесс полирования полупроводниковых материалов алмазосодержащими суспензиями на основе высоконаполненных пастru
dc.title.alternativeОтчет о НИР (заключительный) :ru
dc.typeОтчет НИРru
dc.identifier.udc621.921.34-621.922ru
dc.contributor.supervisorЯкубовская, С. В.ru


Файлы документа

Thumbnail

Данный документ располагается в коллекциях

Показать краткое описание