Исследованы два способа формирования защитных наноструктурных вакуумных покрытий с использованием сепарированных плазменных потоков. Разработан сравнительно простой в технологическом исполнении способ управления размерами кристаллитов в направлении роста покрытия, основанный на осаждении индивидуальных тонких слоев тугоплавких соединений переходных металлов из сепарированных ...