Show simple item record

dc.contributor.authorВабищевич, С. А.ru
dc.contributor.authorВабищевич, Н. В.ru
dc.contributor.authorБринкевич, Д. И.ru
dc.contributor.authorПросолович, В. С.ru
dc.contributor.authorЯнковский, Ю. Н.ru
dc.contributor.authorЧерный, В. В.ru
dc.coverage.spatialМинскru
dc.date.accessioned2016-10-05T06:43:42Z
dc.date.available2016-10-05T06:43:42Z
dc.date.issued2016
dc.identifier.citationИсследование прочностных свойств пленок фоторезиста на кремнии методом склерометрии / С. А. Вабищевич [и др.] // Приборостроение-2015 : материалы 8-й международной научно-технической конференции, Минск, 25-27 ноября 2015 г. : в 2 т. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: О. К. Гусев [и др.]. – Минск, 2015. – Т. 1. - С. 208-209.ru
dc.identifier.urihttps://rep.bntu.by/handle/data/25578
dc.language.isoruru
dc.publisherБНТУru
dc.titleИсследование прочностных свойств пленок фоторезиста на кремнии методом склерометрииru
dc.typeWorking Paperru


Files in this item

Thumbnail

This item appears in the following Collection(s)

Show simple item record