Легирование поверхностного слоя пластин кремния при воздействии компрессионных плазменных потоков
| dc.contributor.author | Асташинский, В. М. | ru |
| dc.contributor.author | Кудактин, Р. С. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2016-06-08T11:26:57Z | |
| dc.date.available | 2016-06-08T11:26:57Z | |
| dc.date.issued | 2015 | |
| dc.identifier.citation | Асташинский, В. М. Легирование поверхностного слоя пластин кремния при воздействии компрессионных плазменных потоков / В. М. Асташинский, Р. С. Кудактин // Наука – образованию, производству, экономике : материалы 13-й Международной научно-технической конференции. - Минск : БНТУ, 2015. - Т. 4. - С. 193-194. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/24097 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Легирование поверхностного слоя пластин кремния при воздействии компрессионных плазменных потоков | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
