Развитие микроэлектроники требует решения проблемы обеспечения единства линейных измерений в субмикронном диапазоне. Этого можно достичь, если проводить калибровку измерительных устройств по эталонным образцам – мерам малой длины. При калибровке измерительного оборудования с помощью эталонной меры важно исследовать составляющие точности метода и их влияние на результат измерений. ...