Browsing 2016 by Author "Солодуха, В. А."
Now showing items 1-1 of 1
-
Измерение глубины нарушенного слоя на поверхности кремниевых пластин методом оже-спектроскопии
Солодуха, В. А.; Белоус, А. И.; Чигирь, Г. Г. (БНТУ, 2016)Предложен метод измерения глубины нарушенного слоя на поверхности кремниевых пластин, основанный на использовании оже-спектрометра с прецизионным распылением поверхностных слоев кремния и регистрацией интенсивности выхода оже-электронов. Для измерения глубины нарушенного слоя с помощью оже-спектроскопии снимается зависимость количества выходящих оже-электронов от времени распыления ...2016-07-27