The formation thin films of transition metal silicides by pulsed photon annealing

dc.contributor.author	Chaplanov, A.	en
dc.contributor.author	Markevich, M.	en
dc.contributor.author	Shcherbakova, E.	en
dc.date.accessioned	2012-04-03T08:50:45Z
dc.date.available	2012-04-03T08:50:45Z
dc.date.issued	2011
dc.identifier.citation	Chaplanov, A. The formation thin films of transition metal silicides by pulsed photon annealing / A. Chaplanov, M. Markevich, E. Shcherbakova // Белорусская инновационная неделя. Форум «Беларусь — Венесуэла». Научно-практический семинар «Перспективы совместных белорусско-венесуэльских исследований в области производства лекарственных аппаратов, лазерных технологий в медицине, фотодинамической терапии онкологических заболеваний, микробиологии, подготовки кадров». – 2011.	en
dc.identifier.uri	https://rep.bntu.by/handle/data/2084
dc.language.iso	en	en
dc.title	The formation thin films of transition metal silicides by pulsed photon annealing	en
dc.type	Working Paper	ru