Процесс изготовления микросхем фотолитографическим методом
| dc.contributor.author | Турыгина, А. А. | ru |
| dc.contributor.author | Кузнечик, В. О. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2026-03-26T08:02:56Z | |
| dc.date.available | 2026-03-26T08:02:56Z | |
| dc.date.issued | 2007 | |
| dc.identifier.citation | Турыгина, А. А. Процесс изготовления микросхем фотолитографическим методом / А. А. Турыгина, В. О. Кузнечик // Приборостроение: 62-й научно-технической конференции студентов, магистрантов, аспирантов, преподавателей и научных работников приборостроительных специальностей (апрель - июнь 2006 г.) / редкол.: О. К. Гусев (гл. редактор), Р. В. Фёдорцев, В. И. Шамкалович [и др.]. – Минск : БНТУ, 2007. – С. 55-60. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/166676 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Процесс изготовления микросхем фотолитографическим методом | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
