Структура пленок оксидов цинка на кремниевой подложке на основе термического испарения в атмосфере инертных газов
| dc.contributor.author | Маркевич, М.И. | ru |
| dc.contributor.author | Чапланов, А. М. | ru |
| dc.contributor.author | Бураков, В. С. | ru |
| dc.contributor.author | Мисаков, П. Я. | ru |
| dc.contributor.author | Савастенко, Н. А. | ru |
| dc.contributor.author | Тарасенко, Н. В. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2026-03-13T07:29:11Z | |
| dc.date.available | 2026-03-13T07:29:11Z | |
| dc.date.issued | 2009 | |
| dc.identifier.citation | Структура пленок оксидов цинка на кремниевой подложке на основе термического испарения в атмосфере инертных газов / М. И. Маркевич, А. М. Чапланов, В. С. Бураков [и др.] // Приборостроение-2009 : материалы 2-й Международной научно-технической конференции, 11-13 ноября 2009 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (пред.), Е. В. Гурина, Д. С. Доманевский [и др.]. – Минск : БНТУ, 2009. – С. 294-296. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/166050 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Структура пленок оксидов цинка на кремниевой подложке на основе термического испарения в атмосфере инертных газов | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
