Фотоэлектрический метод контроля примесей и дефектов в полупроводниковых структурах
| dc.contributor.author | Сопряков, В. И. | ru |
| dc.contributor.author | Пастухова, О. В. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2026-03-12T08:05:14Z | |
| dc.date.available | 2026-03-12T08:05:14Z | |
| dc.date.issued | 2010 | |
| dc.identifier.citation | Сопряков, В. И. Фотоэлектрический метод контроля примесей и дефектов в полупроводниковых структурах / В. И. Сопряков, О. В. Пастухова // Приборостроение-2010 : материалы 3-й Международной научно-технической конференции, 10–12 ноября 2010 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (пред.), Е. В. Гурина, Д. С. Доманевский [и др.]. – Минск : БНТУ, 2010. – С. 202-204. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/165177 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Фотоэлектрический метод контроля примесей и дефектов в полупроводниковых структурах | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
