Методика оценки однородности параметров поверхности полупроводниковой структуры
| dc.contributor.author | Воробей, Р. И. | ru |
| dc.contributor.author | Гусев, О. К. | ru |
| dc.contributor.author | Жарин, А. Л. | ru |
| dc.contributor.author | Мухуров, Н. И. | ru |
| dc.contributor.author | Тявловский, А. К. | ru |
| dc.contributor.author | Тявловский, К. Л. | ru |
| dc.contributor.author | Дубаневич, А. В. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2026-03-12T05:45:06Z | |
| dc.date.available | 2026-03-12T05:45:06Z | |
| dc.date.issued | 2011 | |
| dc.identifier.citation | Методика оценки однородности параметров поверхности полупроводниковой структуры / Р. И. Воробей, О. К. Гусев, А. Л. Жарин [и др.] // Приборостроение-2011 : материалы 4-й Международной научно-технической конференции, 16–18 ноября 2011 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (пред.), Е. В. Гурина, Д. С. Доманевский [и др.]. – Минск : БНТУ, 2011. – С. 185-187. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/164860 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Методика оценки однородности параметров поверхности полупроводниковой структуры | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
