Сканирующий зондовый микроскоп с атомно-силовым и оптическим контролем субмикронных элементов в микроэлектронике
| dc.contributor.author | Пилипенко, В. А. | ru |
| dc.contributor.author | Петлицкий, А. Н. | ru |
| dc.contributor.author | Петлицкая, Т. В. | ru |
| dc.contributor.author | Басалаев, С. П. | ru |
| dc.contributor.author | Понарядов, В. В. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2026-03-12T05:45:04Z | |
| dc.date.available | 2026-03-12T05:45:04Z | |
| dc.date.issued | 2011 | |
| dc.identifier.citation | Сканирующий зондовый микроскоп с атомно-силовым и оптическим контролем субмикронных элементов в микроэлектронике / В. А. Пилипенко, А. Н. Петлицкий, Т. В. Петлицкая[и др.] // Приборостроение-2011 : материалы 4-й Международной научно-технической конференции, 16–18 ноября 2011 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (пред.), Е. В. Гурина, Д. С. Доманевский [и др.]. – Минск : БНТУ, 2011. – С. 135. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/164831 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Сканирующий зондовый микроскоп с атомно-силовым и оптическим контролем субмикронных элементов в микроэлектронике | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |