Исследование микроструктуры и шероховатости поверхности полированных кремниевых пластин (0 100 мм)
| dc.contributor.author | Якубовская, С. В. | ru |
| dc.contributor.author | Бабаскина, С. Ю. | ru |
| dc.contributor.author | Корбит, А. А. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2026-03-12T05:44:53Z | |
| dc.date.available | 2026-03-12T05:44:53Z | |
| dc.date.issued | 2011 | |
| dc.identifier.citation | Якубовская, С. В. Исследование микроструктуры и шероховатости поверхности полированных кремниевых пластин (0 100 мм) / С. В. Якубовская, С. Ю. Бабаскина, А. А. Корбит // Приборостроение-2011 : материалы 4-й Международной научно-технической конференции, 16–18 ноября 2011 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (пред.), Е. В. Гурина, Д. С. Доманевский [и др.]. – Минск : БНТУ, 2011. – С. 437-438. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/164744 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Исследование микроструктуры и шероховатости поверхности полированных кремниевых пластин (0 100 мм) | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
