Реологические свойства водных суспензий ультрадисперсного диоксида кремния для полирования полупроводниковых материалов
| dc.contributor.author | Якубовская, С. В. | ru |
| dc.contributor.author | Корбит, А. А. | ru |
| dc.contributor.author | Ходан, Е. П. | ru |
| dc.contributor.author | Артюх, С. А. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2026-03-11T07:54:55Z | |
| dc.date.available | 2026-03-11T07:54:55Z | |
| dc.date.issued | 2012 | |
| dc.identifier.citation | Реологические свойства водных суспензий ультрадисперсного диоксида кремния для полирования полупроводниковых материалов / С. В. Якубовская, А. А. Корбит, Е. П. Ходан, С. А. Артюх // Приборостроение-2012 : материалы 5-й Международной научно-технической конференции, 21–23 ноября 2012 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (пред.), Е. В. Гурина, Д. С. Доманевский [и др.]. – Минск : БНТУ, 2012. – С. 400-402. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/164474 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Реологические свойства водных суспензий ультрадисперсного диоксида кремния для полирования полупроводниковых материалов | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
