Влияние природы поверхностно-активных веществ на агрегативную устойчивость суспензий ультрадисперсного диоксида кремния для полирования полупроводниковых материалов
| dc.contributor.author | Якубовская, С. В. | ru |
| dc.contributor.author | Корбит, А. А. | ru |
| dc.contributor.author | Ходан, Е. П. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2025-06-12T12:53:32Z | |
| dc.date.available | 2025-06-12T12:53:32Z | |
| dc.date.issued | 2013 | |
| dc.identifier.citation | Якубовская, С. В. Влияние природы поверхностно-активных веществ на агрегативную устойчивость суспензий ультрадисперсного диоксида кремния для полирования полупроводниковых материалов / С. В. Якубовская, А. А. Корбит, Е. П. Ходан // Приборостроение-2013 : материалы 6-й Международной научно-технической конференции (20–22 ноября 2013 года, Минск, Республика Беларусь) / ред. кол.: О. К. Гусев [и др.]. – Минск : БНТУ, 2013. – С. 399-401. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/156343 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Влияние природы поверхностно-активных веществ на агрегативную устойчивость суспензий ультрадисперсного диоксида кремния для полирования полупроводниковых материалов | ru |
| dc.type | Article | ru |
