Формирование дисилицида титана в модификации C49 на кремнии, легированном ионами мышьяка
| dc.contributor.author | Колос, В. В. | ru |
| dc.contributor.author | Маркевич, М. И. | ru |
| dc.contributor.author | Чапланов, А. М. | ru |
| dc.contributor.author | Щербакова, Е. Н. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2025-06-12T12:53:27Z | |
| dc.date.available | 2025-06-12T12:53:27Z | |
| dc.date.issued | 2013 | |
| dc.identifier.citation | Формирование дисилицида титана в модификации C49 на кремнии, легированном ионами мышьяка / В. В. Колос, М. И. Маркевич, А. М. Чапланов, Е. Н. Щербакова // Приборостроение-2013 : материалы 6-й Международной научно-технической конференции (20–22 ноября 2013 года, Минск, Республика Беларусь) / ред. кол.: О. К. Гусев [и др.]. – Минск : БНТУ, 2013. – С. 317-319. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/156298 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Формирование дисилицида титана в модификации C49 на кремнии, легированном ионами мышьяка | ru |
| dc.type | Article | ru |
