| dc.contributor.author | Телеш, Е. В. | ru |
| dc.contributor.author | Шевчик, Е. В. | ru |
| dc.contributor.author | Курбако, Е. Г. | ru |
| dc.contributor.author | Перепечко, Е. Ю. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2025-02-05T12:16:44Z | |
| dc.date.available | 2025-02-05T12:16:44Z | |
| dc.date.issued | 2024 | |
| dc.identifier.citation | Влияние состава рабочего газа на характеристики фторуглеродных покрытий, полученных прямым осаждением из ионных пучков = Influence of working gas composition on the characteristics of fluorocarbon coatings obtained by direct deposition from ion beams / Е. В. Телеш, Е. В. Шевчик, Е. Г. Курбако, Е. Ю. Перепечко // Приборостроение-2024 : материалы 17-й Международной научно-технической конференции, 26-29 ноября 2024 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: А. И. Свистун (пред.), О. К. Гусев, Р. И. Воробей [и др.]. – Минск : Интегралполиграф, 2024. – С. 278-280. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/153108 | |
| dc.description.abstract | Исследовано влияние парциального давления хладона-218 на свойства фторуглеродных покрытий, полученных прямым осаждением из ионных пучков. В результате проведенных исследований определен оптимальный диапазон давления хладона-218 (7,98?10–2–1,06?10–1) для формирования покрытий с оптической прозрачностью до 83 %, углом смачивания до 75 градусов и шириной запрещенной зоны около 2,8 эВ. | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | Интегралполиграф | ru |
| dc.title | Влияние состава рабочего газа на характеристики фторуглеродных покрытий, полученных прямым осаждением из ионных пучков | ru |
| dc.title.alternative | Influence of working gas composition on the characteristics of fluorocarbon coatings obtained by direct deposition from ion beams | ru |
| dc.type | Article | ru |
| local.description.annotation | The influence of the partial pressure of freon-218 on the properties of fluorocarbon coatings obtained by direct deposition from ion beams has been studied. As a result of the research, the optimal pressure range of freon-218 (7,98?10–2–1,06?10–1) was determined for the formation of coatings with optical transparency of up to 83 %, a contact angle of up to 75 degrees and a band gap of about 2,8 eV. | ru |
