| dc.contributor.author | Якубовская, С. В. | ru |
| dc.contributor.author | Корбит, А. А. | ru |
| dc.contributor.author | Денисман, В. Г. | ru |
| dc.contributor.author | Сечко, Т. Н. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2015-03-25T07:39:13Z | |
| dc.date.available | 2015-03-25T07:39:13Z | |
| dc.date.issued | 2014 | |
| dc.identifier.citation | Оптимизация состава полиабразивной суспензии на основе ультрадисперсного диоксида кремния (SiO2–TiO2) для химико-механического полирования кремниевых пластин / С. В. Якубовская [и др.] // Приборостроение-2014 : материалы 7-й Международной научно-технической конференции (19–21 ноября 2014 года, Минск, Республика Беларусь) / ред. колл.: О. К. Гусев [и др.]. – Минск : БНТУ, 2014. – С. 403-405. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/15265 | |
| dc.description.abstract | Целью настоящей работы являлось исследование агрегативной устойчивости, реологических и эксплуатационных свойств полиабразивных суспензий SiO2-TiO2 различного состава и разработка новой полирующей композиции для ХМП кремниевых пластин. | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Оптимизация состава полиабразивной суспензии на основе ультрадисперсного диоксида кремния (SiO2–TiO2) для химико-механического полирования кремниевых пластин | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
