Формирование пленок оксинитрида кремния реактивным ионно-лучевым распылением кварца
| dc.contributor.author | Телеш, Е. В. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2015-03-25T07:20:54Z | |
| dc.date.available | 2015-03-25T07:20:54Z | |
| dc.date.issued | 2014 | |
| dc.identifier.citation | Телеш, Е. В. Формирование пленок оксинитрида кремния реактивным ионно-лучевым распылением кварца / Е. В. Телеш // Приборостроение-2014 : материалы 7-й Международной научно-технической конференции (19–21 ноября 2014 года, Минск, Республика Беларусь) / ред. колл.: О. К. Гусев [и др.]. – Минск : БНТУ, 2014. – С. 392-394. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/15259 | |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Формирование пленок оксинитрида кремния реактивным ионно-лучевым распылением кварца | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
