| dc.contributor.author | Бринкевич, Д. И. | ru |
| dc.contributor.author | Оджаев, В. Б. | ru |
| dc.contributor.author | Просолович, В. С. | ru |
| dc.contributor.author | Янковский, Ю. Н. | ru |
| dc.contributor.author | Вабищевич, С. А. | ru |
| dc.contributor.author | Вабищевич, Н. В. | ru |
| dc.contributor.author | Черный, В. В. | ru |
| dc.coverage.spatial | Минск | ru |
| dc.date.accessioned | 2015-03-23T06:54:38Z | |
| dc.date.available | 2015-03-23T06:54:38Z | |
| dc.date.issued | 2014 | |
| dc.identifier.citation | Прочностные свойства и морфология поверхности структур фоторезист ФП9120 – кремний / Д. И. Бринкевич [и др.] // Приборостроение-2014 : материалы 7-й Международной научно-технической конференции (19–21 ноября 2014 года, Минск, Республика Беларусь) / ред. колл.: О. К. Гусев [и др.]. – Минск : БНТУ, 2014. – С. 260-262. | ru |
| dc.identifier.uri | https://rep.bntu.by/handle/data/15119 | |
| dc.description.abstract | Целью настоящей работы являлось исследование прочностных свойств пленок фоторезиста марки ФП9120 различной толщины, нанесенных на пластины кремния различных марок. | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БНТУ | ru |
| dc.title | Прочностные свойства и морфология поверхности структур фоторезист ФП9120 – кремний | ru |
| dc.type | Working Paper | ru |
