Исследование и моделирование МЭМС конденсаторов и массивов УНТ

Abstract

Объектом исследования являются СВЧ МЭМС, актюаторы, балки из нанокомпозитов УНТ. Цель исследования – разработка теоретической модели поведения МЭМС актюаторов и балок из нанокомпозитов с УНТ. Метод проведения работы – конечноэлементное моделирование. Результаты работы – получены закономерности нелинейного поведения электромеханических актюаторов и балок из нанокомпозитов с УНТ. В работе проведены теоретические исследования и компьютерное моделирование свойств СВЧ МЭМС переключателя (физический эквивалент конденсатора). Разработаны математические модели электростатического деформирования мембран сложной формы. Проведено моделирование электрических и механических полей в переключателях. Разработаны методы возбуждения СВЧ электромеханических колебаний в наноструктурированных углеродных материалах и их теоретическое обоснование, созданы математические модели, промоделированы и рассчитаны характеристики генераторных нанокомпозитных структур и устройств на основе массивов углеродных нанотрубок. Создано теоретическое обоснование методов возбуждения СВЧ колебаний в наноструктурированных материалах (балки из нанокомпозитов с УНТ), выполнено моделирование процессов возбуждения СВЧ колебаний в наноструктурированных материалах.